射频电源是等离子体加工设备核心零部件。射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。主要影响领域包括半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜沉积环节，射频电源的性能对形成的等离子体质量和稳定性至关重要，因此对于输出方式、输出效率、输出稳定性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。

　　射频电源价值约为设备成本12%，2022年射频电源国内市场空间约55亿元。据SEMI统计，2022年全球刻蚀设备市场空间为184亿美元，全球薄膜沉积设备市场空间为220亿美元，射频电源价值量约占等离子体加工设备12%，计算可得对应射频电源市场规模约为26亿美元，考虑离子注入和清洗等环节加工设备，全球总空间约为30亿美元。SEMI统计2021年半导体设备国内销售额约占全球28.9%，国内市场空间约为60亿元。

　　射频电源主要被美商MKS、AE垄断，国产化率几乎为零。射频电源由于自身高技术壁垒和研发难度，国内市场长期被美商垄断，主要企业为美国MKSInstrument（万国仪器）和Advanced Energy（先进能源工业），2021年MKSInstrument半导体业务（包含其他产品）的营业收入为18.29亿美元，Advanced Energy半导体业务（主要为射频电源）的营业收入为7.1亿美元。

　　中美贸易摩擦催化射频电源国产替代，英杰电气、恒运昌研发进度领先。美国BIS于2022年10月7日出台管制新规，管制措施适用于将美国设备或零部件出口到中国国内的特定先进逻辑或存储芯片晶圆厂，国产射频电源替代迫在眉睫。国内设备商和电源企业陆续开始研发合作，其中英杰电气和恒运昌的部分产品已经取得了一定的验证进度，有望成为国产射频电源的中流砥柱。

　　贸易摩擦加快设备国产替代，扩容射频电源市场。由于中美贸易摩擦，23-25年设备国产化率有望快速提升，国产射频电源市场有望迅速扩大。2022年国内设备国产化率约25%，对应国产射频电源空间约14亿元，我们预计，2025年设备国产化率有望超过50%，对应国产射频电源空间将超过30亿元，验证进度领先的射频电源企业有望率先受益。

　　相关公司：英杰电气、恒运昌（未上市）、武汉凡谷、神舟半导体（未上市）等。